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    2020年

  • 202012

    獲國際大廠先進制程重復訂單
    UV Cure研制成功,并出貨到客戶端
    客戶端總流片量超過1500萬片
  • 202011

    “十三五”國家重大專項通過驗收
    整機累計出貨量超過100臺套
  • 20209

    認定為“遼寧省企業技術中心”

    2019年

  • 201912

    泛半導體應用TFLITE研制成功
  • 201912

    獲評國家知識產權示范企業
  • 201912

    完成第四輪融資
  • 201910

    獲批設立“遼寧省博士創新實踐基地”
  • 20199

    SACVD研制成功并出廠到客戶端

    2018年

  • 201812

    首臺14nm硬掩膜 ACHM 機臺出廠到客戶端
  • 201810

    12英寸ALD通過客戶端14nm工藝驗證

    2017年

  • 201712

    首臺量產型3D NAND PECVD 出廠到客戶端
  • 201710

    PF-300T在中芯國際生產線量產流片突破一百萬片
  • 20178

    完成第三輪融資

    2016年

  • 201612

    拓荊新廠投入使用
  • 20164

    “十一五”國家重大專項通過驗收
  • 20163

    首臺12英寸ALD出廠到客戶端

    2015年

  • 201512

    獲批“十三五”國家重大專項
  • 20159

    完成第二輪增資,獲國家集成電路產業投資基金戰略投資
  • 20153

    PF-300T在中芯國際生產線突破一萬片

    2014年

  • 201412

    獲批組建“遼寧省薄膜設備工程研究中心”
  • 20148

    中芯國際首臺量產機臺PF-300T的設備訂單
  • 20145

    完成公司首輪增資

    2013年

  • 201312

    PF-300T通過中芯國際產品線測試
  • 20135

    首臺12寸PF-300銷售

    2012年

  • 201212

    推出12英寸多反應腔PF-300T設備

    2011年

  • 201110

    首臺12英寸PECVD出廠到中芯國際驗證
  • 20118

    獲批建設遼寧省半導體薄膜技術裝備工程技術研究中心

    2010年

  • 20104

    沈陽拓荊科技有限公司成立

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2020年
  • 12

    2020
    獲國際大廠先進制程重復訂單
    UV Cure研制成功,并出貨到客戶端
    客戶端總流片量超過1500萬片
  • 11

    2020
    “十三五”國家重大專項通過驗收
    整機累計出貨量超過100臺套
  • 9

    2020
    認定為“遼寧省企業技術中心”
2019年
  • 12

    2019
    泛半導體應用TFLITE研制成功
  • 12

    2019
    獲評國家知識產權示范企業
  • 12

    2019
    完成第四輪融資
  • 10

    2019
    獲批設立“遼寧省博士創新實踐基地”
  • 9

    2019
    SACVD研制成功并出廠到客戶端
2018年
  • 12

    2018
    首臺14nm硬掩膜 ACHM 機臺出廠到客戶端
  • 10

    2018
    12英寸ALD通過客戶端14nm工藝驗證
2017年
  • 12

    2017
    首臺量產型3D NAND PECVD 出廠到客戶端
  • 10

    2017
    PF-300T在中芯國際生產線量產流片突破一百萬片
  • 8

    2017
    完成第三輪融資
2016年
  • 12

    2016
    拓荊新廠投入使用
  • 4

    2016
    “十一五”國家重大專項通過驗收
  • 3

    2016
    首臺12英寸ALD出廠到客戶端
2015年
  • 12

    2015
    獲批“十三五”國家重大專項
  • 9

    2015
    完成第二輪增資,獲國家集成電路產業投資基金戰略投資
  • 3

    2015
    PF-300T在中芯國際生產線突破一萬片
2014年
  • 12

    2014
    獲批組建“遼寧省薄膜設備工程研究中心”
  • 8

    2014
    中芯國際首臺量產機臺PF-300T的設備訂單
  • 5

    2014
    完成公司首輪增資
2013年
  • 12

    2013
    PF-300T通過中芯國際產品線測試
  • 5

    2013
    首臺12寸PF-300銷售
2012年
  • 12

    2012
    推出12英寸多反應腔PF-300T設備
2011年
  • 10

    2011
    首臺12英寸PECVD出廠到中芯國際驗證
  • 8

    2011
    獲批建設遼寧省半導體薄膜技術裝備工程技術研究中心
2010年
  • 4

    2010
    沈陽拓荊科技有限公司成立

©2021 拓荊科技股份有限公司 遼ICP備05007152號-1

技術支持:優諾科技

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